微奥MEMS微干涉模块是利用MEMS微镜设计的一款迈克尔逊干涉仪,可以实现各种光干涉。
干涉模块中使用的反射均采用MEMS技术设计加工,驱动微镜的电压低、谐振频率高、抗冲击力强、可实现三维调节,方便使用。
无锡微奥科技有限公司成立于2010年8月,归国博士创办的国家,公司拥有国际水平的MEMS微镜技术,早于2012年就已实现国内光学MEMS芯片的批量生产。目前,公司光学MEMS芯片包括单轴、双轴、三维、线阵、M*N大阵列芯片等,具有创纪录的大角度 、大位移、高镜面填充率 、低驱动电压等优势,广泛应用于医学影像、生化分析、光通信、3D人脸识别以及激光雷达等多众多领域。
红外光谱仪
MEMS微干涉模块 产品信息