MEMS多维度微动平台是利用MEMS执行器驱动平台以及所载物体在多个维度上实现移动。伴随各类系统不断集成化，小型化的，以及精度，可靠性等性能要求的不断提高，MEMS微动平台以其体积小，精度高，功耗低，速度快等优势在各个领域中有着极为广阔的应用场景。
所涉及领域覆盖光学成像，光学通讯，生物检测等，并可在无人机，视频监控，虚拟现实，增强现实，基因工程，5G，智能穿戴等一系列应用中起到关键作用。
微奥微动平台可以实现5维驱动（面内二维+面外三维），结合电热与静电两种驱动方式，可根据具体应用需求搭配不同执行器，可实现高精度（纳米级），大位移（毫米级），低功耗，高填充率，小尺寸，高速多维微动平台。
无锡微奥科技有限公司成立于2010年8月，归国博士创办的国家，公司拥有国际水平的MEMS微镜技术，早于2012年就已实现国内光学MEMS芯片的批量生产。目前，公司光学MEMS芯片包括单轴、双轴、三维、线阵、M*N大阵列芯片等，具有创纪录的大角度 、大位移、高镜面填充率 、低驱动电压等优势，广泛应用于医学影像、生化分析、光通信、3D人脸识别以及激光雷达等多众多领域。
红外光谱仪
多自由度微动平台 产品信息
