微奥MEMS阵列芯片分为一维线阵和二维矩阵两种，目前已开发的一维线阵微镜包括1*20的WSS波长选择开关，二维微镜矩阵包括8*8和20*20大阵列光交叉互联（OXC)芯片，其驱动电压小于10V，芯片偏转角度可达±10°。
无锡微奥科技有限公司成立于2010年8月，归国博士创办的国家，公司拥有国际水平的MEMS微镜技术，早于2012年就已实现国内光学MEMS芯片的批量生产。目前，公司光学MEMS芯片包括单轴、双轴、三维、线阵、M*N大阵列芯片等，具有创纪录的大角度 、大位移、高镜面填充率 、低驱动电压等优势，广泛应用于医学影像、生化分析、光通信、3D人脸识别以及激光雷达等多众多领域。
红外光谱仪
线阵阵列微镜 产品信息
