该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式，共振扫描可实现±15°机械偏转，准静态模式可实现 6.5°机械偏转。微镜镜面尺寸达2.5~3mm，表面镀铝或金，对可见光至红外光不同波长光源均有良好的反射率。该 系列芯片可应用于3D人脸识别、激光雷达、医学成像、机器视觉等领域。
多种尺寸芯片
无锡微奥科技有限公司成立于2010年8月，归国博士创办的国家，公司拥有国际水平的MEMS微镜技术，早于2012年就已实现国内光学MEMS芯片的批量生产。目前，公司光学MEMS芯片包括单轴、双轴、三维、线阵、M*N大阵列芯片等，具有创纪录的大角度 、大位移、高镜面填充率 、低驱动电压等优势，广泛应用于医学影像、生化分析、光通信、3D人脸识别以及激光雷达等多众多领域。
红外光谱仪
一维微镜 产品信息
