该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式,准静态模式可实现0~±1~±6°不同角度机械偏转。微镜镜面尺寸0.3~3mm,表面镀铝,对可见光光源有良好的反射率。该系列芯片可应用于双轴光开关、激光雷达、医学成像等领域。
无锡微奥科技有限公司成立于2010年8月,归国博士创办的国家,公司拥有国际水平的MEMS微镜技术,早于2012年就已实现国内光学MEMS芯片的批量生产。目前,公司光学MEMS芯片包括单轴、双轴、三维、线阵、M*N大阵列芯片等,具有创纪录的大角度 、大位移、高镜面填充率 、低驱动电压等优势,广泛应用于医学影像、生化分析、光通信、3D人脸识别以及激光雷达等多众多领域。
红外光谱仪
二维微镜 产品信息