产品特点：
PLC工控机控制整个清洗过程，全自动进行。
7寸彩色触摸屏互动操作界面，实时工作参数状态直观显示。
手动、自动两种工作模式。
数字流量计控制，控制更准确。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
合理的结构设计，设备占用空间小。
可处理各种材质、形状、尺寸样品。
样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
使用成本低、耗损小。
产品性能稳定，安装与维护简便方便。
安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
型号 | CPC-15 | |
舱体尺寸 | W240xH240xD260mm | |
舱体容积 | 15L | |
有效尺寸 | W210xD245mm | |
电极分布 | 2层 | |
射频电源 | 13.56MHz， 0-300W | |
匹配器 | 自动匹配器 | |
激发方式 | 电容式 | |
电 流 | 1.2A | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
控制系统 | 7寸PLC触摸屏控制 | |
工艺气体 | 2气路 MFC（可选装3路） | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
电 源 | AC220V 50-60Hz | |
