产品特点：
u 双浮子流量计设计，经济实用。
u 电容式等离子激发方式。
u 弧形等离子激发板，等离子激发能力更强。
u 符合人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。
u 上控制下舱体上下结构设计，结构更合理，占用实验室空间小
u 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
技术参数
型号 | CPC-F | CPC-Fplus |
舱体尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm |
舱体容积 | 3.8L | 3.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 双浮子流量计（标配） | |
有效处理尺寸 | L200xW155mm | |
产品尺寸 | L425xW420xH465mm | |
包装尺寸 | L560xW545xH730mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz
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