产品特点：
u 可模拟生产条件，便于小批量中试生产。
u 桌面型，占用空间小。
u 性能稳定，操作简便，使用成本低，易于维护，性价比高。
u 有效处理面积大，可处理8寸硅片去胶等应用。
u 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品，进行清洗和改性。
技术参数：
型号 | CPC-12 | CPC-12plus |
舱体尺寸 | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
舱体容积 | 12.8L | 12.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-300W可调 |
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路） | |
处理尺寸 | Φ370mm圆盘 | |
产品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包装尺寸 | L750xW640xH570mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz | |
