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Gemini™ MxG5xx 大气压至超高真空真空计

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称英福康(广州)真空仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/1/25 15:22:53
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产品标签:

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INFICON 致力于一系列的慈善活动,旨在支持公司的战略业务目标,改善我们员工的工作与生活社区的生活品质。 INFICON 以货币和志愿者资源的方式作出慈善贡献。商业行为和道德准则在 INFICON,我们致力于诚实守信地从事商业活动,遵守的道德和法律准则。 每个 INFICON 的员工都应该承诺遵守这些职业道德行为准则。INFICON 商业行为与道德准则本商业行为与道德规范准则(“准则”)旨在阐明 并公布有关 INFICON(“公司”或 “INFICON”)期望公司董事、部门经理以及雇员坚持的商业行为的一般声明。 此准则不具排他性: 公司职员还应遵守公司其它不时生效的适用政策。 本准则适用于公司、所有子公司及其在世界范围内控制的其它经营组织。INFICON 的此项政策要求在恪守高度诚信准则和遵守所有适用法律法规的条件下从事所有公司业务。据此 INFICON 的所有董事、部门经理和雇员都必须做到以下几点:1. 诚实守信,当个人利益和公司利益在实际中发生明显的冲突时,要以道德的方式解决。2. 执行官、高级财务官和其他负责准备、评估和公布 INFICON 财务信息的负责人应当在 INFICON 与瑞士交易所和美国证券交易委员会一起归档或者 INFICON 提交给瑞士交易所和美国证券交易委员会的报告和文档中,以及由 INFICON 公布的公开信息中披露完整、公正、准确、及时和可以理解的信息。3. 遵守联邦、州、省和地方政府以及其它相关的私人和公共管理机构的适用法律法规。 在努力遵守上述准则的过程中,INFICON 的所有董事、部门经理和雇员应当具备良好的判断力和常识,并且在遇到疑问时请求指导。4. 如遇到违反准则的情况,请寻求指导并立即将证据报告给阁下的上司,如果必要,可提交到 INFICON 董事会的审计委员会。:Dr. Thomas Staehelin, Postfach 2879, St. Jakobs-Strasse 7, CH-4002 Basel, Switzerland。 我们将对电话、详细信息和/或电子邮件保密。对于秉诚行事汇报违规行为的员工,不得对其实施 任何报复行为。 违反该准则的董事、部门经理和雇员将受到纪律处分,最严重处罚包括解雇和接受法律制裁。 董事会对审定背离或违背该准则的执行委员和董事具有的权力和裁量权。 撤销或放弃使用此准则应通过与美国证券交易委员会编档立即公布。环境、健康与安全政策INFICON 最注重保护所有员工的健康和安全。 我们采用了适当的政策和程序,旨在确保 INFICON 符合或*适用的健康和安全法律及法规,以及现行的行业标准。我们努力全面实施所有安全政策和程序。 INFICON 管理层意识到环境保护作为现行运营活动一部分,居于首要地位。 INFICON 致力于坚持的伦理与道德标准从事各种商业活动,遵守所有相关的法律法规。负责任且高效地使用环境资源,而不是单纯地防止和最小化污染,这是 INFICON关注的焦点。 INFICON 通过减少污染、再利用和回收等方式,主动管理有效的资源消耗。INFICON 承诺执行并继续改进文件形式的“环境管理系统”。 我们已培训员工尽全力地执行以上的政策。通过将此政策公布于众,并保持与内部和外部有关当事人的可行沟通,INFICON 认识到自己作为社会一分子所应承担的责任和应扮演的角色。
Gemini™ MxG5xx 大气压至超高真空真空计
Gemini™ MxG5xx 大气压至超高真空真空计 产品信息

好处

  • Long lifetime in harsh environments

  • 在恶劣环境下,使用寿命长

  • 低杂散磁场
  • 零维护 - 可换插头
  • 超紧凑尺寸
  • 抗腐蚀馈入装置
  • 可选测量电流
  • 2 relay setpoints (in conjunction with MxG55x EtherCAT Version)
  • EtherCAT and RS232/ RS485 digital interace

典型应用

  • 基本压力监视和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
  • 一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
  • 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

新闻

新一代冷阴极/冷阴极-皮拉尼组合真空计现在开放订购!

规格

类型 MAG5xx MPG5xx
测量系统 Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
测量范围(空气、氮气) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
准确度 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 30

30

1×10-2 … 100 毫巴 % of reading - 30
100 … 1000 毫巴 % of reading - 50
可重复性 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 5 -
1×10-8 … 100 毫巴 % of reading - 5
安装定位 any any
容许压力 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <> 10 (limited to inert gases <>
容许温度    
运行(环境) °C +5 ... +55 +5 ... +55
法兰烘烤 (1) °C <150 <150
储存 °C -40 ... +70 -40 ... +70
灯丝温度 °C - 120
一年 30 天的相对湿度    
1×10-7 … 1×10-2 毫巴 % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
供电电压    
在量规 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
波纹 V (p-p)

<1

<1

功耗 W <2 <2
待连接的保险丝 AT <1 <1
电压范围    
模拟输出 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
测量范围    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MBx-xxx-xxxP V -  
3MAx-xxx-xxxQ V +0.667 ... +10  
电压比压力    
3MAx-xxx-xxxN volts per decade 1 (logarithmic)  
3MBx-xxx-xxxP volts per decade -  
3MAx-xxx-xxxQ volts per decade 1.33 (logaritmic)  
错误信号    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MA-xxx-xxxQ V <+0.3  
3MBx-xxx-xxxP V -  
Output impedance

2 x 4.7 (short circuit-proof)

 
Load impedance kΩ >10 (short circuit-proof)  
阶跃响应时间    
p > 10-6 毫巴 ms

<100

<100

p = 10-8 毫巴 s

~1

 
量规标识 (FCC connector gauges)    
3MAx-0xx-000N kΩ -  
3MAx-0xx-000Q kΩ 100  
3MBx-0xx-000P kΩ -  
状态(针 6)    
Current rating mA 100 (sink)  
High Voltage is ON V (dc) +14.5 ... +30 (depending on supply voltage)  
High Voltage is OFF V (dc) 0  
Status signal, digital output (D-sub connector)    
Supply voltage V (dc)

<30

 
Current rating mA 100  
High voltage ON V (dc)

0

 
High voltage OFF open  
电气连接    
3Mxx-0xx-000x FCC68, 8-pin, female  
3Mxx-0xx-010x D-sub, 9-pin, male  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
传感器电缆    
3Mxx-0xx-000x 8-pin, shielded  
3Mxx-0xx-010x 9-pin, shielded  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
电缆长度    
FCC connector cable m

<50 (0.14 mm2/ conductor)

 
High voltage (in the measuring chamber)    
Ignition voltage kV <4.5  
工作电压 kV <3.3 <3.3
Current (in the measuring chamber)    
High current µA <380  
Low current µA <130  
Setpoint relays (MxG55x)    
Range (N2) mbar bar 5x10-5 ... 1500  
Relay contact normally open (NO), potential free  
Hysteresis % of threshold 10  
Contact rating of mechanical relays V/A <30/ <1  
Switching time ms <30  
曝露在真空的材料    
3Mx0-xxx-xxxx Ni alloy, Mo, AI2O3, glass, stainless steels  
3Mx3-xxx-xxxx Mo, AI2O3, stainless steels  
3Mx0-11x-xxxx Ni alloy, Mo, Al2O3, glass, Ti, stainless steels  
3Mx3-11x-xxxx Mo, Al2O3, Ti, stainless steels  
内部容量    
DN 25 ISO-KF cm³
DN 40 ISO-KF cm³ ~20.9
DN 40 CF-F cm³ ~25.2  
DN 40 CF-R cm³ ~25.6  
内部容量 cm³ 22.8 22.8
重量 (MxG50x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
Weight (MxG55x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
防护等级 IP 40 IP 40
CE conformity    
RoHS 2011/65/EU  
EMC 2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1  
Safety EN 61010-1  
RS232C / 485C (MxG50x)    
Baud rates kBaud 9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6  
Address 2 switches (address 00 - 255)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
Connector for RS232 & RS485 D-Sub HD, 15-pin, male  
EtherCAT® (MxG55x)    
Protocol EtherCAT®

 

 
Communication standard

ETG.5003.1  S (R) V1.1.0 4)

ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 5)

 
Node address Explicit Device Identification  
Physical layer 100Base-Tx (IEEE 802.3)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), Input & output  
EtherCAT cable Special Ethernet Patch cable or crossover cable, shielded (CAT5e Quality or higher)  
Cable lenght m (ft.) <100 (330)  

1)没有电子元件。

2)电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。

3)冷阴极点燃。

Gemini Ordering Information_13.03.2019.PNG

附件

MAG5xx
零件号 明细
211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 点火单元
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
353-512 Baffle for BPG400
MPG5xx
零件号 明细
211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 点火单元
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
353-512 Baffle for BPG400

备件

MAG5xx
零件号 明细
351-500 MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556 Spare ion chamber ti
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536 MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524 MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502 MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514 MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538 MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526 MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501 MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513 MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537 MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525 MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503 MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515 MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539 MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527 MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 起辉器
351-555 Spare ion chamber ss
MPG5xx
零件号 明细
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518 MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542 MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530 MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508 MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520 MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544 MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532 MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507 MPG504 spare sensor, 25KF, SS
351-519 MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543 MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531 MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509 MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521 MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545 MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533 MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 起辉器
351-555 Spare ion chamber ss
351-556 Spare ion chamber ti

数据表

手册

手册

三维步骤文件

视频

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