好处
- 测量范围可达 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)
- 全金属冷阴极传感器(潘宁)带有陶瓷馈入装置
- 新创的电极几何形状提供的点火属性
- 等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板,降低了污染风险,即使是使用氩气进行溅射操作期间
- 阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
- 最小化真空计附近的磁场强度
- LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口(Profibus DB、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
- 高真空压力监控
- 蒸发镀溅系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
类型 | PEG100 | |
---|---|---|
测量范围 | 1 x 10-9 to 1 x 10-2 | |
精度 | ||
10-8 至 10-4 毫巴 | % of reading | ±30 |
压力,() | bar | 10 |
温度 | ||
运行(环境) | °C | +10 to +50 |
贮存 | °C | -20 to +75 |
无电子设备,烘烤 | °C | 350 |
带电子元件,在法兰处烘烤 | °C | 70 |
供应 | ||
电压 | V (dc) | 14.5 to 36 |
消耗, | W | <> |
输出信号模拟 | ||
输出信号 | V | 0 to 10.6 |
测量范围 | V | 0.66 to 10 |
电压与压强之间的关系 | volts per decade | 1.333 |
连接器 | FCC 68, female, 8 pin (shielded) | |
电缆长度,(模拟) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti | |
内部容积 | cm³ (in.³) | 21 (1.28) |
重量,接近 | g | 500 |
保护类型 | IP40 | |
DeviceNet™ | ||
设备类型 | generic | |
显示对等网络传讯 | no | |
I / O 对等传讯 | no | |
配置一致性值 | no | |
默认节点恢复 | no | |
波特率 | kBaud | 125 / 250 / 500 |
主板 / 扫描器 | no | |
I / O 从属传讯: 位触发 | yes | |
I / O 从属传讯: 轮询 | yes | |
I / O 从属传讯: 周期 | yes | |
I / O 从属传讯: 状态改变 (COS) | yes | |
DeviceNet™ 电源 | V (dc) | 11 to 25 |
DeviceNet™ 连接器 | Phoenix Combicon, 5 pin |
零件号
PEG100 | |
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零件号 | 明细 |
351-000 | 真空计 |
351-002 | PEG100-P 规管 |
351-003 | PEG100D 型真空计 |
351-004 | PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F |
351-490 | 阴极片 |
数据表
手册
三维步骤文件
其他文件