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BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称英福康(广州)真空仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/1/20 15:11:31
  • 访问次数74
产品标签:

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INFICON 致力于一系列的慈善活动,旨在支持公司的战略业务目标,改善我们员工的工作与生活社区的生活品质。 INFICON 以货币和志愿者资源的方式作出慈善贡献。商业行为和道德准则在 INFICON,我们致力于诚实守信地从事商业活动,遵守的道德和法律准则。 每个 INFICON 的员工都应该承诺遵守这些职业道德行为准则。INFICON 商业行为与道德准则本商业行为与道德规范准则(“准则”)旨在阐明 并公布有关 INFICON(“公司”或 “INFICON”)期望公司董事、部门经理以及雇员坚持的商业行为的一般声明。 此准则不具排他性: 公司职员还应遵守公司其它不时生效的适用政策。 本准则适用于公司、所有子公司及其在世界范围内控制的其它经营组织。INFICON 的此项政策要求在恪守高度诚信准则和遵守所有适用法律法规的条件下从事所有公司业务。据此 INFICON 的所有董事、部门经理和雇员都必须做到以下几点:1. 诚实守信,当个人利益和公司利益在实际中发生明显的冲突时,要以道德的方式解决。2. 执行官、高级财务官和其他负责准备、评估和公布 INFICON 财务信息的负责人应当在 INFICON 与瑞士交易所和美国证券交易委员会一起归档或者 INFICON 提交给瑞士交易所和美国证券交易委员会的报告和文档中,以及由 INFICON 公布的公开信息中披露完整、公正、准确、及时和可以理解的信息。3. 遵守联邦、州、省和地方政府以及其它相关的私人和公共管理机构的适用法律法规。 在努力遵守上述准则的过程中,INFICON 的所有董事、部门经理和雇员应当具备良好的判断力和常识,并且在遇到疑问时请求指导。4. 如遇到违反准则的情况,请寻求指导并立即将证据报告给阁下的上司,如果必要,可提交到 INFICON 董事会的审计委员会。:Dr. Thomas Staehelin, Postfach 2879, St. Jakobs-Strasse 7, CH-4002 Basel, Switzerland。 我们将对电话、详细信息和/或电子邮件保密。对于秉诚行事汇报违规行为的员工,不得对其实施 任何报复行为。 违反该准则的董事、部门经理和雇员将受到纪律处分,最严重处罚包括解雇和接受法律制裁。 董事会对审定背离或违背该准则的执行委员和董事具有的权力和裁量权。 撤销或放弃使用此准则应通过与美国证券交易委员会编档立即公布。环境、健康与安全政策INFICON 最注重保护所有员工的健康和安全。 我们采用了适当的政策和程序,旨在确保 INFICON 符合或*适用的健康和安全法律及法规,以及现行的行业标准。我们努力全面实施所有安全政策和程序。 INFICON 管理层意识到环境保护作为现行运营活动一部分,居于首要地位。 INFICON 致力于坚持的伦理与道德标准从事各种商业活动,遵守所有相关的法律法规。负责任且高效地使用环境资源,而不是单纯地防止和最小化污染,这是 INFICON关注的焦点。 INFICON 通过减少污染、再利用和回收等方式,主动管理有效的资源消耗。INFICON 承诺执行并继续改进文件形式的“环境管理系统”。 我们已培训员工尽全力地执行以上的政策。通过将此政策公布于众,并保持与内部和外部有关当事人的可行沟通,INFICON 认识到自己作为社会一分子所应承担的责任和应扮演的角色。
BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计
BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计 产品信息

好处

  • 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
  • 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
  • 双长使用寿命氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示器和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
  • 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

新! 现在提供 EtherCAT 数字接口!

规格

类型 BPG402-S
测量范围(空气、O2、CO、N2 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压力, bar (absolute) 2
温度  
运行(环境) °C 0 … +50
贮存 °C -20 … +70
在法兰处烘烤,无电子设备 BPG402-S °C 80
无电子设备,在法兰处烘烤 BPG402-SL °C 150
电源电压 +20 … +28
输出信号模拟  
输出信号 V 0 … +10
测量范围 V +0.774 … +10
电压与压强 volts per decade 0.75
错误信号 V 0.1 / 0.3 / 0.5
最小负载电阻 kΩ 10
设定点继电器  
设定点数量 1
范围 mbar 1×10-9 … 100
继电器触点 n.o., potential free
滞后 % of reading 10
触点额定值 ≤30
数字功能 degas
接口(数字)(2) RS232C
发射控制 automatic / manual via interface
单丝 two Yt2O3 coated Ir
单丝状态/继电器 LED / relay
电气连接 D-Sub, 15-pin, male
电缆长度, (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保护等级 IP30
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 ≤30
Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
协议 DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型 ''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯 polling only
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 ≤30
DeviceNet™ 电源电压 +11 … +25
真空计电源电压 +20 … +28
DeviceNet™ 连接器 Microstyle, 5-pin
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
以太网  
以太网协议 protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
节点地址 Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太网数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information
以太网连接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330)

1)除气期间准确性降低

2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

3)RS232C 操作 <>

零件号

BPG402-S
零件号 明细
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S 真空计
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD 型真空计
353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494 BPG402 感应器
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R

附件

BPG402-S
零件号 明细
353-511 BPG400 24V电源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

备件

BPG402-S
零件号 明细
354-494 BPG402 感应器
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R

数据表

手册

手册

三维步骤文件

其他文件

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