好处
- 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
- 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
- 一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程
- 用户可编程的设定点继电器
- 用户可编程的显示器单位:mbar、Torr 或 Pa
- 用户可选的发射电流自动设换范围
- 机械强度和坚固性
- 各种法兰的选择
- 易于更换的传感元件
- 合规和标准:CE、RoHS
- 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)
(Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
新闻
我们从现在开始接受订单!规格
类型 | BAG302 | |
---|---|---|
测量范围 | 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2 | |
精度 (N2) | ||
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar | % of reading | ±15 |
1×10-8 … 5×10-2 Torr | % of reading | ±15 |
可重复性 | % of reading | ±5 |
脱气 | ||
p < 6.7="" x="">-5 | mbar | electron bombardment, 2 min (default) |
p < 5.00="" x="">-5 | Torr | (programmable between 2 ... 10 min) |
温度 | ||
运行(环境) | °C | 0 ... +40 |
存储 | °C | -40 ... +70 |
法兰处烘烤(传感器,已拆下电子元件) | °C | 200 |
电源电压 | V (dc) | +20 ... +28 |
模拟输出信号 | V | 0 ... +9 (log-linear) |
电压与压力 | volts per decade | 1 |
设定点继电器 | 1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive | |
电气连接 | D-Sub, 9-pin, male for analog,D-Sub, 9-pin, female for RS485 | |
接口(数字式) | RS485 | |
发射控制 | manual | |
丝极 | two Yt2O2 coated Ir | |
丝极状态 | display / digital output | |
数字功能 | degas, filament on/off and emission control | |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni | |
安装方向 | any | |
内部容积 | cm³ (in.³) | 16.4 (1.0) |
重量 KF / CF | 270 |
数据表
手册
三维步骤文件