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深圳市梦启半导体装备有限公司


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单面抛光机

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单面抛光机
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产品型号DL-855/4P-CMP

品       牌

厂商性质其他

所  在  地深圳市

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更新时间：2024-10-17 14:48:29浏览次数：39次

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深圳市梦启半导体装备有限公司

经营模式：其他

商铺产品：9条

所在地区：广东深圳市

联系人：李培红

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产品简介

单面抛光机是单面精密抛光设备，采用的机械结构和多种控制方法，抛光加工效率高，运行稳定。

详细介绍

设备优势

◎ 本设备为单面精密抛光设备，采用的机械结构和多种控制方法，抛光加工效率高，运行稳定。


◎ 整机采用PLC+触摸屏控制系统，设备参数设置和操作简单方便，系统运行稳定性高。


◎ 主电机采用变频调速控制，实现主机软启动、软停机降低设备运行冲击，减少工件损伤。


◎ 工件抛光压力采用气缸加压方式，通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制，保证的施压精度与稳定性。


◎ 上压盘采用主动驱动方式，在确保产品撤光速率的前提下保证各工位抛光加工的统一性。


◎ 抛光盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能，在保证抛光液发挥效率的同时减少抛光盘面的变形。

性能参数
参数名称单位DL-855/4P-CMP
主电源V三相 380
主电机功率KW15
主电机转速RPM0~85
上盘驱动电机转速RPM0~70
抛光盘尺寸mm855
加工尺寸寸2-8
工作工位组4
工件盘尺寸
mmΦ305x15
单工位压力Kg20~300
抛光液流速L/min15（可调）
主盘温度检测度±5
设备尺寸（W x D x H）mm1200x1650x2250
设备重量Kg约2450

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商铺：https://www.56js.com/st45975/

主营产品：硅片分选机


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