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D07系列模拟质量流量控制器

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更新时间：2025-01-15 12:05:35浏览次数：24次

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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

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详细介绍

D07-9E 气体质量流量控制器

产品型号：D07-9E
产品系列：D07系列模拟质量流量控制器
产品类型：普通型

★大流量型

★橡胶密封、模拟电路的MFC

★分流器不易堵塞

★采用DB15型电插头，国际标准机械接头

用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

产品型号	D07-9E流量检测流量控制 D07-9EM流量控制
产品类型	普通型
流量量程	20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm
产品精度	±2％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤4sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Male
工作压差范围	(0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm）
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	VCR1/2",双卡套1/2",双卡套1/4"(满量程≤60slm),双卡套Φ12,双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	- 无 -
重量	2.6Kg