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D07系列气体质量流量控制器

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更新时间：2025-01-15 12:09:45浏览次数：23次

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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

产品简介：D07-19B系列模拟质量流量控制器高精度型,快响应型流量控制流量检测国际兼容用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。

详细介绍

D07-19B系列模拟质量流量控制器高精度型,快响应型流量控制流量检测国际兼容用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

D07-19B 气体质量流量控制器
产品型号：D07-19B (流量控制流量检测)
产品系列：D07系列模拟质量流量控制器
产品类型：高精度型,快响应型

★高精度，快响应型

★橡胶密封、模拟电路的MFC

★采用DB15型电插头，国际标准机械接头

★国际兼容用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

产品型号	D07-19B
产品类型	高精度型,快响应型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度	±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% F.S.
响应时间	≤2sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Male
工作压差范围	(0.1～0.3) MPa,(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套1/8"(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8",φ4(内)×1软管接头,VCR1/4",双卡套1/4",φ6(内)×1软管接头
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	CE
重量	0.95kg