浚和（上海）仪器科技有限公司
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高频等离子表面处理装置■操作性·功能●射频13.56Mhz0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺.●标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确
高频等离子表面处理装置 型号 V1000 方式 DP&RIE双模标准装备 性能 发生器功率： 0-1000W 发生器频率： 射频RF13.56Mhz 发生器匹配方式： 自动匹配（Auto matching) 构成 腔体材质： 铝制腔体 腔体内尺寸： 400×400×384mm 约61.4L 电极尺寸： 300mm×300mm 反应气体： 双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 填充气体： 一路氮气 控制方式： 全自动控制，5.7寸液晶触摸屏 真空度显示： 测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空度 配管材质： SUS不锈钢以及特氟龙 门： 铰链门 涂装颜色： 标准色，白系 外形尺寸： W700×D800×H1600mm （高度含警报灯） 真空泵： 无油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸气口NW40,排气口NW25 电源规格： 3phase AC200V 50/60Hz 8A 重量： 约215kg 附属品 真空管件一套、真空转接接头一套
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺.
● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。
■ 安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关：门在未关闭时无法启动电源。
● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
● 紧急停止按键（EMO）标准配备。
● 当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
■ 技术规格
■ 产品图纸
■ 设备安装图
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