浚和（上海）仪器科技有限公司
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高频等离子表面处理装置
高频等离子表面处理装置。 型号 PR1000 方式 DP模式、圆柱形腔体 性能 发生器功率： 0-1000W 发生器频率： 射频RF13.56Mhz 发生器匹配方式： 自动匹配（Auto matching) 构成 腔体材质： 石英 腔体内尺寸： φ400×L500mm 约62.8L 反应气体： 双路工艺气体，其中一路可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体，一路防腐蚀气路支持CF4. 填充气体： 一路氮气 控制方式： 全自动控制，7寸液晶触摸屏 真空度显示： 测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空度 配管材质： SUS不锈钢以及特氟龙 门： 铰链门 涂装颜色： 标准色，白系 外形尺寸： W800×D919×H1958mm （高度含警报灯） 真空泵： 无油干式真空泵 抽速60m3/hour，吸气口NW40,排气口NW25 电源规格： 3phase AC200V 50/60Hz 8A 重量： 约215kg 附属品 真空管件一套、真空转接接头一套、6寸、8寸石英舟各一枚
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 纯净石英腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有气体流量、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关：门在未关闭时无法启动电源。
● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
● 紧急停止按键（EMO）标准配备。
● 运行中ERR报警：运行中出现以下问题设备会出现ERR报警，并停止装置：RF输出值与设定值不符，气体流量值与设定值不符，RF反射波超过一定范围，真空度未达到设定值，等离子处理后，设定时间内，未恢复到大气压。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
规格：
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