大族激光科技产业集团股份有限公司
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1.低耗能、低耗气产品2.便捷的垂直收放板方式3.合理的等离子反应空间，使处理更加均匀4.集成的控制系统设计，使操作更方便5.真空系统集成，占地面积小
应用领域：
1.PCBA孔内钻污及表面清洁
2.HDI板孔底及孔壁钻污的清洁
3.FPC孔内钻污及表面的清洁
4.PI表面粗化及清洁
5.Coverlay表面粗化及清洁
6.Teflon板的活化及孔内钻污清洁
7.软硬结合板孔内钻污及表面清洁
技术参数：
| 电极 | 有效尺寸 | 610(H)*1118(W)mm/533(H)*635(W)mm |
| 电极层数 | 15层 | |
| 腔体 | 尺寸 | 1150(L)*1650(W)*1010(H)mm/1105(L)*840(W)*932(H)mm |
| 材料 | 航空级铝合金 | |
| 主机 | 尺寸 | 1826(L)*1720(W)*2326mm(H)/1500(L)*1100(W)*2050mm(H) |
| 安装面积 | 3200mm*4000mm | |
| 重量 | 2850KG/2200KG | |
| 电源 | 频率 功率 | 可选配13.56MHZ射频电源/微波电源/中频电源 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 | |
| 真空泵 | 干泵 | 1178CFM/1060CFM |
| 安装条件 | 安装条件 | AC380V,50-60Hz,三相五线，38KVA/30KVA |
| 压缩空气 | 6-8KG/CM2 | |
| 工艺气体 | Ar，N2，CF4，O2，H2 | |
| 运行环境 | 18-30°C，少尘，干燥，远离强磁场 | |
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