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科晶 PCE-6V 小型等离子清洗机

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参   考   价: 48000

订  货  量: ≥1 台

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地

更新时间:2024-02-07 10:09:27浏览次数:25次

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经营模式:其他

商铺产品:4条

所在地区:

联系人:逯娜娜

产品简介

采用气体作为清洗介质,清洗程度可达到分子级,流量计另配

详细介绍

沈阳科晶 PCE-6V 小型等离子清洗机


仪器概述:

    PCE-6V 小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。


主要技术特点:

  1、采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。

  2、可短时间内清洗掉有机污染物。

  3、清洗程度可达到分子级。

  4、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

  5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。

  6、样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。

  7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。


主要技术参数:

产品型号

  PCE-6V小型等离子清洗机

技术参数

  1、电压:AC220V  10A

  2、消耗功率:<500W(包括真空泵)

  3、RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz

  4、腔体:Ø190mm×98mm

  5、石英管:Ø180mm×55mm,壁厚7mm

  6、内腔:Ø165mm×55mm

  7、清洗电极:Ø120mm

  8、样品台:Ø150mm,有效尺寸Ø140mm

  9、样品台与电极间距:15mm-50mm可调

  10、抽气管:Ø12mm

  11、极限真空度:0.1Pa

  12、工作真空度:60Pa-500Pa

  13、气路数量:2路(选装)

  14、流量控制器数量:1、2

  15、流量显示仪:2通道

  16、气路接口:Ø6mm

  17、加热样品台:Ø140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)

  18、冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa

  19、工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

产品规格

  1、尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

  2、重量:20kg(不含真空泵)

可选配置

  1、加热样品台

  2、流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2个通道)

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