详细摘要: MEMS酒精气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率 较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时,...
产品型号:所在地:深圳市更新时间:2025-06-06 在线留言深圳汉威物联有限公司
                                
                
                
详细摘要: MEMS酒精气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率 较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时,...
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