30L在线等离子清洗机
- 真空腔体：W240mm×H150mm×D240mm 约30L
- 低频电源：40KHz 0-1000W （可选装13.56MHz 0-300W）
- 外形尺寸：W800mm×H600mm×D500mm
- 外部供电：AC380V 50-60Hz
- 控制系统：触摸屏控制
- 工艺气体：1气路 MFC（可选装2路）
- 真空泵：抽速约30m3/h
200L在线等离子清洗机
- 真空腔体：W600mm×H600mm×D600mm 约216L
- 低频电源：40KHz 0-2000W （可选装13.56MHz 0-750W）
- 外形尺寸：W1560mm×H2350mm×D1860mm
- 外部供电：AC380V 50-60Hz
- 控制系统：触摸屏控制
- 工艺气体：2气路 MFC（可选装3路）
- 真空泵：抽速约250m3/h
