深圳市金徕技术有限公司
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应用范围 ✦ 材料科学 ✦ 高分子科学 ✦ 生物医药材料学，医疗支架 ✦ 微流体研究及PDMS ✦ 微电子机械系统研究 ✦ 光学 ✦ 显微术 ✦ 电池极性材料，硅基，金属半导体，陶瓷 ✦ 科研、实验、教学
石英等离子清洗机是专门针对高洁净度敏感产品处理需求的产品。作为有针对的设计，提供多种配置功能选项。并具有高性能以及稳定性，操作方便的使用特性。
并可以控制在极低的腔体温度，特别适用于温度敏感器件。
产品规格
型号 | JL-VQ05 | JL-VQ10 | JL-VQ15 | JL-VQ20 |
容量 | 5L | 10L | 15L | 20L |
功率 | 300W可调 | 500W可调 | 1000W可调 | 1000W可调 |
频率 | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ |
腔尺寸 | D160*220 | D240*260 | D240×420 | D320×320 |
腔体材质 | 石英 | 石英 | 石英 | 石英 |
| 等离子体 | 耦合,腔体内无电极 | 耦合,腔体内无电极 | 耦合,腔体内无电极 | 耦合,腔体内无电极 |
真空度 | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa |
真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 |
气体流量 | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN |
冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 |
气体通道 | 二路 | 二路 | 二路 | 二路 |
外形尺寸 | 500(W)*550(D)*500(H) | 500(W)*550(D)*500(H) | 560(W)*700(D)*550(H) | 560(W)*700(D)*550(H) |
更多详细参数情况建议联系深圳金徕 | ||||
石英等离子清洗机原理及功能简介：
等离子体能与固体和气体发生相互作用，这是等离子体在材料处理过程中发挥作用的前提。等离子体处理材料的四种基本工艺过程是：等离子体能产生高能粒子，等离子体能溅射产生金属原子，等离子体能发生化学反应以及等离子体能高效地将电能转化成为热能。其中的某单一过程或多个过程都能对材料起到一定的改性作用。
石英等离子清洗机采用电感耦合式工作原理，利用真空泵达到一定的真空值后，在电感的作用下，形成了活性很高的等离子体，由此产生的等离子体可以达到表面改性清洗处理的效果。 通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀膜等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料，并对所处理的材料表面带来表面超洁净、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。且不产生金属污染。
应用范围
u 材料科学
u 高分子科学
u 生物医药材料学，医疗支架
u 微流体研究及PDMS
u 微电子机械系统研究
u 光学
u 显微术
u 电池极性材料，硅基，金属半导体，陶瓷
u 科研、实验、教学
产品优势
1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。
2、不会对人员的身体造成任何伤害
3、低成本。
产品特点
产品主要适用于规模生产/科学实验
设备结构紧凑,操作简单容易维护
引进德国核心等离子技术
石英材质,耐腐蚀，不产生金属污染。
进口针阀精密流量控制计
多路工艺反应气体通道
可以根据客户需求定制
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