深圳市金徕技术有限公司
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应用范围： · LED封装制程
LED封装等离子清洗机是一款针对LED封装工序设计，主要对污染物的去除，氧化层还原，表面性能活化等功效，增强材料表面的打线，粘接工艺能力，有利于下一道工艺的进行。
产品规格
型号 | JL-IVM-021 |
外形尺寸MM | 850(W)*950(D)*1650(H) |
腔尺寸 MM | 500(W)*450(D)*550(H) （120L） |
腔体材质 | 316不锈钢 |
等离子发生器 | 13.56MHz，50~1000W自动调节。 |
真空度 | 5~30Pa |
气体通道 | 2路（Ar/N2） |
冷却方式 | 风冷 |
真空泵 | 真空泵+罗茨泵 |
控制方式 | PLC+人机 |
真空硅 | 电容式 |
压缩空气 | 0.5~0.6MPa |
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