深圳市天禧仪器有限公司
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用途：场发射环境扫描电镜，配备能谱仪和冷台。扫描电镜和能谱仪，可用于测试各种材料，如金属材料、高分子材料、无机材料（矿物、岩土、甚至含水分材料）等的样品表面二次电子形貌信息，背散射电子组分区分，能谱元素成分分析。结合冷台，可通过控制样品室内温度和湿度，模拟环境测试样品在动态环境中的形貌和组分变化，并记录这些变化的过程。
1 电子光学：
1.1 发射源：高分辨肖特基场发射电子枪。
1.2 加速电压：200V – 30kV。
1.3 放大倍数：6× - 2,500,000×。
1.4 电镜内设计有压差真空系统，保护低真空/环境真空下电子枪，延长寿命。
1.5 大的电子束束流：1pA -200nA连续可调，保证能谱高效工作。
2 真空系统：
2.1 1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵+2个离子泵
2.2 集成的离子泵备用电池（用于意外断电保护）
2.2 高真空模式：＜6×10-4 Pa （测试导电样品或喷金处理样品）
2.3 低真空模式：10 – 200 Pa （直接测试不导电样品）
2.4 环境真空模式：10 – 4000 Pa （测试含水分样品）
2.5 高真空模式下的换样时间：≤3.5min
2.6 环境真空模式下的换样时间：≤4.5min
3 分辨率：
独立的高真空专用探测器，分辨率指标
3.1 高真空分辨率30 kV下1.0 nm (二次电子)
3.2 高真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射电子)
3.3 高真空分辨率1 kV下3.0 nm (二次电子)
独立的低真空专用探测器
3.4 低真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次电子)
3.5 低真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射电子)
3.6 低真空分辨率3 kV下3.0 nm (背散射电子)
独立环境真空专用探测器
3.7环境真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次电子)
4 样品室：
4.1 样品室内宽：340mm
4.2 分析工作距离：10 mm
4.3 样品室红外CCD相机：1个
4.4 最多可升级12个探测器或附件接口
5 样品台：
5.1 样品台类型：五轴全自动U中心对中样品台，同时保留五轴手动功能
5.2 行程：X：110 mm，Y：110 mm ，Z：65 mm，
5.4 旋转R=n×360o，倾斜T=-15o/+90o
5.3 多功能样品台，存放标准样品台 (Ø12 mm)平面18个，斜面3个，同时提供2个断面夹具
5.4 样品安全高度≥85mm
电子光学：
1.1发射源：钨灯丝（高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪）
1.2固定式物镜光阑，无需手动调整使用方便
*1.3加速电压：200V – 30kV，自动256级偏压设计
1.4放大倍数：6× - 1000000×
1.5极靴内有一路单独抽真空系统，保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染，延长灯丝寿命
1.6电子束束流：可达到的值不小于2µA，并连续可调
1.7使用工厂预对中灯丝更换方便
真空系统
2.11个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵
2.2高真空模式：＜1×10-5 Pa
*2.3低真空模式：10 – 130 Pa
*2.4环境真空模式：10 – 2600 Pa
*2.5高真空模式下的换样时间：≤150秒
*2.6低真空及环境真空模式下的换样时间：≤270秒
分辨率
3.1高真空模式下的分辨率
3.1.130 kV下3.0 nm (二次电子)
3.1.230 kV下4.0 nm (背散射电子)
*3.1.33 kV下8.0 nm (二次电子)
**3.2环境真空模式下的分辨率（以英文样本公布的参数为准，并作为验收指标）
**3.2.130 kV下3.0 nm (二次电子)
3.2.2具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头
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