设备名称:内置MFC等离子清洗机 型号:SAT-5D 品牌:赛奥特(SAT) 生产厂家:赛奥特(北京)科技有限公司 |
技 术 参 数 |
序号 | 项目名称 | 详细参数 |
1 | 主要应用 | 1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物 8.疏水实验 9.镀膜前处理等 |
2 | 主要特点 | 1.实时检测和显示真空度,真空度准确使得机器在智能控制下有了可靠的依据 |
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| *2.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用防腐蚀 |
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| *3.采用电容式 Plasma激发,实验效果稳定,均匀可靠 |
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| *4.采用薄膜按键+液晶屏显示控制,手动,自动两种模式任意切换 |
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| 5.程序化设计,预先编辑好程序,仪器自动完成实验 |
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| 6.无需任何耗材,使用成本低,无需特殊进行维护,在日常使用中保持仪器清洁即可,密闭真空环境下完成实验避免二次污染 |
3 | 技术规格 | 舱体尺寸: 255X150(直径)mm ,不锈钢舱体 |
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| 频率:13.56MHz 频率偏移量<0.2MHz 电源220V/50Hz |
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| 射频功率:150W,10到150W无极可调,精度:1瓦 |
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| 时间设定:1秒到99分59秒 |
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| 气体稳定时间:60秒 气路设置:内置两路MFC控制 |
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| 外形尺寸: 552X590X295mm 整机重量: 28Kg |
4 | 基本配置 | 主机 + 真空系统(真空泵 油雾过滤器 真空管 法兰) + 外加气体软管 样品托盘 + 说明书 + 电源线 + 合格证 |