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更新时间:2023-05-04 18:00:39浏览次数:35次
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经营模式:其他
商铺产品:2条
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PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调
PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
● 输出功率:7.2W、10.2W、29.6W
● 总功率:<600w>600w>
● 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
● 电源:AC220V 50Hz
●
● 高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
● 带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察
● 控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。
● 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
● 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)
● 等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体
● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合
● 您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片
400mm×300mm×300mm
10.2kg
CE认证
● 一年保修,终身技术支持。
● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
● 点击查看售后服务承诺书。
PCE-6 小型等离子清洗机
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