上海唯科电气有限公司
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INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济的规管中，测量压强从210-6**1000毫巴(1.510-6**750乇)。HPG400提供**的重复性和再现性压强测量，用于**的溅射过程的压强控制。
INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济的规管中，测量压强从2×10-6**1000毫巴(1.5×10-6**750乇)。HPG400提供**的重复性和再现性压强测量，用于**的溅射过程的压强控制。
用户**性
◆ HPG400节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性
◆ 高压强热电离真空计1×10-5毫巴为要求高的过车工控制提供**、**的压强测量
◆ 用户可选的热电离发射在5×10-2**1毫巴之间起始工作
◆ 皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁
◆ 高真空皮拉尼自动调整，减少操作人员的干预
◆ 备有可选的图形显示器和现场总线接口
典型应用
◆ 半导体制作中溅射工艺应用，电子学的媒体工业
◆ 工业镀膜
◆ 在低****高真空范围中系统的一般真空测量和控制
订购资料
| 型号 | HPG400 Without LCD display | HPG400 With LCD display | HPG400-SP With Profibus DP1） | HPG400-SD With DeviceNet1） |
| DN 25ISO-KF | 353-520 | 353-521 | 353-525 | 353-527 |
| DN 40CF-R | 353-522 | 353-523 | 353-526 | 353-528 |
| **换传感器25ISO-KF | 354-487 | 354-487 | 354-487 | 354-487 |
| **换传感器40CF-R | 354-488 | 354-488 | 354-488 | 354-488 |
1）不带液晶显示器
附件
| 电源24VDC/RS232C线 | 353-511 | 353-511 | 353-511 | 353-511 |
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