上海衡鹏企业发展有限公司
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STK-780半自动晶圆预切割膜贴膜机特点：自动滚轴贴膜技术手动放置和取出晶圆/承载环自动胶膜进给和贴膜支持各种膜类
STK-780半自动晶圆预切割膜贴膜机特点： |
自动滚轴贴膜技术 |
手动放置和取出晶圆/承载环 |
自动胶膜进给和贴膜 |
支持各种膜类，包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜、特种膜类 |
自动圆形切刀用于非预切割膜的切割 |
自动收卷衬纸，适用于UV膜和非UV膜 |
晶圆台盘温度可编程控制，可达120℃ |
标准8"晶圆台盘用于8"晶圆，可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘 |
PLC控制，带5.7"触摸屏 |
配置光帘保护功能，和紧急停机按钮 |
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控 |
STK-780半自动晶圆预切割膜贴膜机性能： |
晶圆收益 | ≥99.9% |
贴膜质量 | 没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡） |
每小时产能 | ≥80片晶圆 |
MTBF | >500小时 |
MTTR | <1小时 |
停机时间 | <3% |
STK-780 半自动晶圆预切割膜贴膜机规格参数： |
贴膜原理 | 自动滚轴贴膜技术 |
晶圆直径 | 8"& 12" |
晶圆厚度 | 50~750微米 |
晶圆种类 | 正常的V型缺口晶圆 |
膜种类 | 预切割膜、DAF膜、非预切割膜、或者UV膜 宽度：290毫米预切割膜/DAF膜 320毫米UV/非UV膜 长度：100米 厚度：0.05~0.2毫米 |
晶圆承载环 | 8"DISCO 或者K&S标准 |
贴膜定位精度 | ±1mm |
装卸方式 | 手动晶圆/承载环放置与取出 |
防静电控制 | 去离子风扇 |
台盘温度 | 室温~ 120℃，可编程控制 |
切割系统 | 环型切刀用于8"DISCO承载环 |
控制单元 | 基于PLC 控制，带5.7"触摸屏 |
安全防护 | 配置光帘保护和紧急停机按钮 |
电源电压 | 单相交流电220V,16A |
压缩空气 | 60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺 |
机器结构 | 全铝型材制造，坚固耐用 |
机器外壳 | 白色喷塑金属外壳 |
体积 | 800毫米(宽)*1450毫米(深)*1980毫米(高) |
净重 | 350公斤 |
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