高频输出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型)
电极尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。
等离子灰化机PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装
等离子灰化机PDC200/210/510特征
● DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器
等离子灰化机PDC200/210/510内槽
构成图
DP模式
PDC510标配)
PDC200/210选配)
RIE模式
等离子灰化机PDC200/210/510规格
型号
| PDC200
| PDC210
| PDC510
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等离子模式
| RIE(DP模式选配) |
电极构造
| 平行平板(固定) |
高频输出
| Max300W
| Max500W
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频率
| 13.56MHz
|
控制·显示
| 液晶触摸屏
|
反应室尺寸
| W400×D250×H150mm
| W500×D300×H200mm
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电极尺寸
| W250×D170mm
| W400×D200mm
|
反应室材质
| 铝
|
反应气体
| 2系统(Ar、O 2 )
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填充气体
| N 2 或干燥空气
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反应气体流量控制
| 流量计
| 聚合控制器
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真空泵
| 另行选配
| 油泵(约345L/分)标配
| 油泵(约500L/分)标配
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气体导入口
| 反应气体2个、填充气体1个
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外形尺寸
| W540×D600×H600mm
| W540×D600×H600mm
| W700×D700×H1285mm
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重量
| 约100kg
| 约105kg
| 约180kg
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电源
| 单相 AC100V 10A
| 三相AC200V 6A
| 三相AC200V 8A
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