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更新时间:2023-01-12 08:18:06浏览次数:71次
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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 Regulus系列现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Re…
超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 "Regulus系列"现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100 "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的良好性能。*1Regulus8240/8230/8220特点沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的良好性能与现有机型相比分辨率提高了20%左右(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)采用污染小、高真空样品仓运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2极低着陆电压下高分辨观察样品:金颗粒着陆电压:10 V超高分辨观察样品:Pt催化剂加速电压:30 kV低加速电压下高分辨EDX分析样品:Sn球着陆电压:1.5 kV*2 Regulus8240/8230/8220规格*3 减速模式下观察*4 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率Regulus SEM Layout
"Regulus系列"
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。
此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的良好性能。
*1
Regulus8240/8230/8220
特点
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的良好性能
与现有机型相比分辨率提高了20%左右(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察
样品:金颗粒着陆电压:10 V
超高分辨观察
样品:Pt催化剂加速电压:30 kV
低加速电压下高分辨EDX分析
样品:Sn球着陆电压:1.5 kV
*2 Regulus8240/8230/8220
规格
*3 减速模式下观察
*4 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
Regulus SEM Layout
Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)
超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000
超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus8100
扫描电子显微镜 SU3500
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