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苏州利比特控制科技有限公司


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TwisTorr 74 FS涡轮分子泵

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更新时间:2023-01-05 08:12:40浏览次数:104次

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TwisTorr74FS安捷伦70L/s涡轮分子泵TwisTorr74FS将TiwsTorr拖动级技术和安捷伦悬浮轴承技术相结合,具有高性能、高可靠性及经济性

详细介绍

TwisTorr 74 FS


安捷伦 70 L/s 涡轮分子泵 TwisTorr 74 FS 将 TiwsTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承技术相结合,具有高性能、高可靠性及经济性。这款 70 L/s 涡轮分子泵借助涡轮增压技术与创新的 TwisTorr 拖动级技术之间的协同作用,可提供高真空性能。悬浮轴承确保低振动和低噪音,适用于高灵敏度仪器和工作环境。
这款小型涡轮泵适用于多种应用,包括研发、UHV 系统、核研究和电子显微镜。
TwisTorr 74 FS 可提供一体式控制器或机架控制器。

技术规格


技术规格
抽速KF40CFF 2.75"ISO 63CFF 4.5"
N2
He
H2
Ar
44 L/s
33 L/s
28 L/s
40 L/s
50 L/s
40 L/s
31 L/s
51 L/s
60 L/s
54 L/s
42 L/s
59 L/s
60 L/s
54 L/s
42 L/s
59 L/s
气体通量 (*)风冷
(环境温度 35 °C)
水冷
(水温 25 °C/环境温度 35 °C)
N2130 sccm130 sccm
Ar80 sccm80 sccm
(*) 前级泵 5 m3/h
压缩比与前级耐压 (**)
N2
He
H2
Ar
1.0 × 109
2.0 × 105
1.0 × 104
> 1.0 × 109
> 12 mbar
> 10 mbar
> 04 mbar
> 14 mbar
(**) 前级耐压是指涡轮分子泵仍能产生 100 压缩比的压力,该压力在水冷模式下估算得出
极限真空(使用推荐的前级泵)< 5 × 10-10 mbar
< 3.75 × 10-10 Torr)
抽气口法兰KF 40、ISO 63、CFF 4.5"、CFF 2.75"
前级管道法兰KF 16 NW
转速70000 rpm(1167 Hz 驱动频率)
启动时间< 2 分钟
推荐的前级泵Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵
Agilent IDP-3/IDP-7 涡旋式干泵
操作位置任意位置
操作环境温度+5 °C 至 +35 °C
空气相对湿度0%–90%(无冷凝)
烘烤温度在入口法兰处,ISO 为 80 °C(CFF 为 120 °C)
润滑油性润滑
冷却要求
风冷加压空气冷却(环境温度 5–35 °C)
气流温度 +5° C 至 +35 °C
水冷水温 +15 °C 至 +25 °C 水流速 65 L/h
噪声声压级(全速运行时距离 1 m 处)40 dB(A)
储存温度-40 °C 至 +70 °C
海拔3000 m
重量 kg(磅)ISO 63
CFF 4.5"
CFF 2.75"
KF 40
2.05 (4.50)
3.50 (7.70)
3.34 (7.35)
2.37 (5.22)
规范符合性
CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求
* 平均值 ± 4 dB(A) 标准差


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