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Teledyne HPM-2002双传感器真空计

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更新时间：2023-03-23 11:24:25浏览次数：125次

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产品简介

屡获殊荣的2002系列宽范围双传感器真空计有两种安装方式，面板安装或传感器安装。

详细介绍

Teledyne HPM-2002双传感器真空计

屡获殊荣的2002系列宽范围双传感器真空计有两种安装方式，面板安装或传感器安装。

HPM-2002双传感器真空计是一种面板安装仪器，带有基于微处理器的显示单元，仪表管和互连电缆。两个传感元件（微机械皮拉尼和压阻式传感器）可在1 X 10-4至1000 Torr的压力下提供精确的真空测量。驻留在微处理器中的算法确保传感器之间的无缝过渡。HPM-2002-OBE双传感器真空计是仪表的系统安装版本。HPM-2002-OBE以紧凑的配置提供2002系列的所有性能特性，您可以选择12种信号输出选项。

应用

半导体蚀刻

溅射室

负载锁定系统

过程控制和测试

等离子涂层