▲适用于与Inconel® 或 Inconel/ 不锈钢相容的气体
▲压力范围:0~10 Torr 至0~1000Torr,0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa,0~2 psia 至0~20psia,0~2 kpa 至0~100kpa
介绍
Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从10Torr 到1000Torr。测量单位可以是Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作电压是15VDC,输出0~10VDC 或0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15 针D 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和ESD 抑制元件以及输入输出的RFI 过滤等技术,Model 760 具有的EMI/RFI 性能。Model 760 有一个完整的滑面,很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压力和真空接头。Model 760 中高精度的压力传感元件VactronSensor,是在Setra 技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra 的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号,该集成电路是根据西特技术负荷平衡原理设计的。Model 760 采用革新的传感设计获得了的零点稳定性和大气压非敏感性。Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。
注:Setra 坚持严格的质量标准ANSI-Z540-1。此产品的标定源于NIST。
应用
● 半导体过程工具和装置
● 实验室和研究开发
● 实验和测量
● 度量
● 分析化学系统
特点
■ 的热稳定性
■ 出众的EMI/RFI 性能
■ 低价位
■ 小巧紧凑的结构
■ 耐腐蚀的Inconel® 湿部件
■ 多种压力连接和电气连接方式
■ 符合CE 标准
性能参数 | 物理参数 | 电气电压(电压) |
精度A | ±0.25%of Reading | 壳体 | 铝合金 | 电路 | 4线 |
精度B | ±0.15%of Reading | 电气连接 | 15针D型插座或 6位螺纹接线端子 | 激励 | ±15VDC,调整范围5% |
输出2 | 0~10VDC或0~5VDC |
温度影响 | 压力接头 | 见订购信息 | 功耗 | ﹤0.5w(﹤15mA) |
补偿范围 | 0~+50℃(+32~+122℉) | 腔体体积 | ﹤6cm3 | | |
零点偏移 | ±0.005%FS/℃ | 零点/满量程调节 | 多匝点位计 (在画面底部) | 压力介质 |
与Inconel或InconeV不锈钢相容的气体。Inconel湿部件仅配0.5管的节头,选择其他的 接头增加不锈钢. |
满程偏移 | ±0.02 | 重量 | 260克(约9盎司) |
分辨率 | 无限的,仅受输出噪声的限制(0.01%FS) | 环境参数 |
温度 | 1. 工作温度的限制仅对电子元件而言,压力介质温度可以更高或更低. 2. 采用50K的负载进行标定,可接10000或更大的负载。 |
耐压 | 45psia | 工作温度1 | 0~+50℃ |
时间常数 | ﹤20ms | 储存温度 | -50~+125℃ |