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布鲁克Bruker Dektak XTL探针式轮廓仪

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更新时间：2022-11-01 13:42:59浏览次数：124次

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产品简介

Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可限度地提高测试通量。

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布鲁克Bruker Dektak XTL探针式轮廓仪(图1)