上海泰勒精密仪器制造有限公司
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YD
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| YD-200 | YD-201 | YD-201D | YD-202 | YD-202D | |||
| 测量范围 INSPECTION SCOPE | 左右移动距离about the moving distance | ||||||
| 120mm | 125mm | ||||||
| 上下移动距离moving up and down a distance | |||||||
| 200mm | 340mm | ||||||
| 主轴精度 SPINDLE PRECISION | ± 0.0125μm（系统精度 system precision 0.03μm） | ||||||
| 平行度精度 PARALLEL PRECISION | 3μm/300mm | ||||||
| 回转工作台 SLEW WORKTSBLE | 外径diameten Φ162mm | 外径diameten Φ380mm | 外径diameten Φ260mm | ||||
| 水平调节范围 horizontal adjustmentrange: ± 2mm | |||||||
| 倾斜调节度 the digree of tilt adjustment: 1º | |||||||
| 承载重量 LOAD WORKTSBBLE | 25KG | 30KG | |||||
| 传感器SENSOR | 直线范围liear range : ±400μm | ||||||
| 测量力 measuring force : 70mN | |||||||
| 电源POWER | AC(220±10%) V 50Hz 500VA | ||||||
| 备注note | 气浮结构 Air floating Structure. 6r/min | 气浮结构 Air floating Structure. 6r/min | 非气浮结构 Non air floating Structure. 6r/min | 气浮结构 Air floating Structure. 6r/min | 非气浮结构 Non air floating Structure. 6r/min | ||
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