2022-11-07 13:17:04196
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1.ALD(传统的热原子层沉积)；2.PEALD(等离子增强原子层沉积)；3.PowderALD(粉末样品的原子层沉积)；仪器简介：原子层沉积（AtomicLayerDeposition，ALD），也称为原子层外延（AtomicLayerEpitaxy，ALE），或原子层化
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