2022-11-06 10:29:09116
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NPE-3500PECVD等离子体化学气相沉积系统概述：NANO-MASTERPECVD系统能够沉积高质量的SiO2,Si3N4,或DLC薄膜到可达12”直径的基片上.该系统采用淋浴头电极或中空阴极射频等离子源来产生等离子，具有分形气流分布的优势
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