-仪器介绍-
小型等离子表面处理设备是专门针对于大学，研究机构和工厂研发机构设计的小批量样品处理装置，作为有针对的设计，突出移动方便，多种配置功能和高性能以及稳定性，操作方便的使用特性。
-设置参数-
a. 频率偏移量： 小于0.2KHz
b. 特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
c. 真空度： 10Pa—1000Pa
d. 气体流量： 60—600ml/min(可调)
e. 过程控制： MCU自动与手动方式
f. 清洗时间： 1-100分钟可调
g. 功率大小 10%-99%可调
h. 真空泵： 2XZ-4
i. 真空室温度： 小于65°C
j. 冷却方式： 强制风冷
-仪器特点-
（1）体积小，，可放置在任何实验台上。
（2）性能可靠，“肚量”宽大。真空腔体采用T6061航空铝合金材料无缝焊接，电极面积达到89mm*170mm，腔体与电极之间的间隙可到53mm，样品放置空间大。
（3）配置灵活，可配置不同的频率及功率：50KHz，13.56MHz；控制系统可选择了PLC微电脑控制和更精j准的全数字电脑控制，以满足不同用户的要求。
（4）操作简便，一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作，甚至只需要几分钟就可掌握。
（5） 安全保障：在小型设备中，引入一键急停保护按钮，可以快速终止实验，以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。
-仪器应用-
光学镜片清洗：清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
去除氧化物：移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。
芯片清洗：清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。
表面修饰：高分子材料表面的修饰。
封装领域：封装领域中的清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘和。
改善粘合力：改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
涂覆镀膜：对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性，使其活化，增强表面粘附性、浸润性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量。
牙科领域：对钛制牙移植物和硅酮压模材料表面的预处理，增强其浸润性和相容性。
医用领域：修复学上移植物和生物材料表面的预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性及对医疗器械的消毒和杀菌。
