真空等离子清洗机属于电子工业的干法清洗，在一定的真空条件下,对气体施加走过的能力使之离化为等离子体,等离子体处理样品表面从而实现表面洁净、表面改性、表面刻蚀、表面接枝的目的.最后将污染物转换为气相，并通过真空泵用连续气体流将其排出。
一、等离子清洗机的工作原理
主要通过等离子体作用在材料表面后产生一系列物理及化学变化，利用等离子清洗机包含的活性粒子和高能射线，与表面有机污染物分子发生反应、碰撞，形成小分子挥发性物质，从表面移除来实现清洁效果。
（1） 物理反应（Physical reaction）：
主要是利用等离子体的粒子作为纯物理的撞击，把材料表面的原子打掉来清除了材料表面的污染物和刻蚀作用，将材料表面变粗糙，增加表面比和润湿性。
（2） 化学反应（Chemical reaction）：
利用表面活化在材料表面产生新的活性基团，利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合，后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团，以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。
二、真空等离子处理实拍
三、参数设置
四、设备优势
（1）电源
采用高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体.确保出众的清洗效果。
（2）全面安全防护
温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。
（3）的放电技术
特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。
（4）密封性优良的真空腔体设计
高真空度真空腔体设计及制造工艺,配置进口真空泵。
（5）优质的产品部件
产品全部部件采用国内外优质部件,确保设备性能优越。
（6）超低清洗温度
满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。
（7）精美数控加工
进口精美CNC数控机床加工工艺,并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。
（8）适用于形状复杂样品
清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,均匀清洗。
