广州文明机电有限公司
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霍尔效应测量系统L79/HCS
L79/HCS系统可用于半导体组件性能表征，包括:迁移率，电阻率，载流子浓度和霍尔常数。
基本型提供不同形状和温度条件下所需的样品支架。选配低温（液氮）附件结合高温炉（温度可达800°C）可确保涵盖所有应用领域。永磁体和电磁铁可提供高达几特斯拉强度的固定或者可变磁场。
样品支架位于密封的真空测量室，测量室设有进出气体口，可在受控及可变的气氛下进行测量。不同的样品支架可用于从LN2至800℃进行测量。
可选的实际磁场强度可以在高达150℃的温度下测量。测量过程中，在滑轨上的两个磁路可以移动组装，可将磁通量从正变为零甚至为负，因此样品无需移动。
电阻率和电导率
霍尔常数和迁移率
载流子浓度
高温霍尔测量
易于操作
集成装置
型号 | L79 HCS |
温度范围 | 从LN2 至 800°C （不同配置） |
输入电流 | 5nA 至 125 mA |
霍尔张力 | 1 µV 至 2500 µV |
数字分辨率 | 300 pV |
样品几何形状 | 从 5 x 5 mm 至 25 x 25 mm 高度 5 mm |
磁场 | Basic: 永磁铁，0.7 T；磁极直径90 mm 电源 75A / 40V. |
传感器 | 提供不同的可交换传感器配置 |
电阻率范围 | 10-4 至 107 (Ω/cm) |
载体密度 | 107 至 1021 (1/cm3) |
迁移率 | 1 至 107 (cm2/Volt sec) |
重复性/准确性 | |
电阻率 | ± 3% (大多数材料) |
霍尔常数 | ± 5% (大多数材料) ± 6% (大多数材料) |
气氛 | 真空，惰性，氧化，还原 |
附件：
多种传感器可用于不同的：
样品量
温度范围
可选永磁铁或电磁铁。
淬火冷却附加装置，可在80K下进行测量。
控制液氮冷却的KREG和Dewar。
用于自动化测量的电动线性平台。
规定大气的气体进出口。
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