奥坤鑫（苏州）机电科技有限公司
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编号项目技术参数1机台整机规格PM120L:1320(W)times;1720(H)times;1030(D)mmPM180L:1400(W)times;1720(H)times;1050(D)mm2真空室规格550(W)×635(H)×535(D)mm3电极板规格PM120L: 10层平板式电极板（470(W)times;410(D)mm）可定制PM180L: 10层平板式电极板（530(L)times;400(W)mm）可定制4控制系统触摸屏+PLC控制5真空测定系统皮拉尼电阻式真空计6气体计···
编号 | 项目 | 技术参数 |
1 | 机台整机规格 | PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm |
2 | 真空室规格 | 550(W)×635(H)×535(D)mm |
3 | 电极板规格 | PM120L: 10层平板式电极板（470(W)×410(D)mm）可定制 PM180L: 10层平板式电极板（530(L)×400(W)mm）可定制 |
4 | 控制系统 | 触摸屏+PLC控制 |
5 | 真空测定系统 | 皮拉尼电阻式真空计 |
6 | 气体计量系统 | 精确质量流量控制计 MFC |
7 | 气体路数 | 2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
8 | 等离子发生器 | 500W&1KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz） |
9 | 工作气体 | 2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2 |
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。 | ||
用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。 | ||
1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁； 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗 ； 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。 | ||
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