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INFICON HPG400高压强热电离皮拉尼真空计

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更新时间:2024-01-18 08:09:00浏览次数:55次

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产品简介

INFICONHPG400高压强热电离皮拉尼真空计INFICON高压强热电离皮拉尼真空计,HPG400,将高压强热电离与皮拉尼真空计综合在一个小型,轻便与经济的规管中,测量压强从2X10-6毫巴至大气压(1.5X10-6乇至大气压)

详细介绍

INFICON HPG400高压强热电离皮拉尼真空计


      INFICON高压强热电离皮拉尼真空计,HPG400,将高压强热电离与皮拉尼真空计综合在一个小型,轻便与经济的规管中,测量压强从2X10-6毫巴至大气压(1.5X10-6乇至大气压)。HPG400提供高度的重复性和再现性压强测量,用于精确溅射过程的压强控制。

优越性:

1、  HPG400节省成本和设备空间,降低真空测量的安装与设置的复杂性

2、  高压强热电离真空计从1X10-51毫巴为要求高的过程控制提供精确,可靠的压强测量

3、  用户可选的热电离发射在5X10-21毫巴之间起始工作

4、  皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁

5、  备有可选的图形显示器和Fieldbus接口

6、  高真空皮拉尼自动调整,减少操作人员的干预

7、  符合RoHS

用途:

1、  半导体制造中溅射工艺应用,电子学和传媒工业

2、  工业镀膜

3、  在低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制




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