- PI…Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定
- 采用隔膜式的全金属密封MFC, 经过EP 处理以及氧化覆膜处理， 可以对应腐蚀性流体
- DeviceNet・EtherCAT通信对应
- W型密封圈接头
- "使用SP.精度高精度计测
全流量控制范围响应性1sec以内" - 可使用专用软件进行量程切换
尺寸图
标准规格
| MODEL | ST-500 | |
|---|---|---|
| 传感器类型 | 热式绕组传感器 | |
| 阀 门 | 比例电磁阀(断电时关闭) | |
| 流量量程(N2计算) | 100SCCM～10SLM | 30SLM |
| 控制范围 | 2～99%F.S. | |
| 响应性 | lsec以内 | |
| 精度 | ±1%S.P. (10～99%F.S.) ±0.1%F.S. (2～10%F.S.) | |
| 重现性 | ±0.2%F.S. | |
| 动作压差 | 50～300kPa | 200～300kPa |
| 入口压力 | 300kPa(G) | |
| 耐压 | 1MPa(G) | |
| PI机能 | Overshoot±2%F.S. | |
| 外部泄露率 | 1×10-11Pa ·m3/sec以下 | |
| 允许环境温度 | 5～50℃ | |
| 允许环境温度 | 15～40℃ | |
| 精度保证温度 | 0～60℃ | |
| 允许保存湿度 | 0～80%RH(未出现冷凝) | |
| 接触气体部位材质 | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni | |
| 通讯接口 | DeviceNet M12(Male)5pin | |
| 电源 | 11～25VDC(5VAmax) | |
| 接头尺寸 | 1.125”Wシール92mm | |
| 重量 | 约1000g | |
※保证精度以N2 为准
※PI功能规格为流量 SV5~99%F.S.范围内对±3%PSI的供给压力变动
※规格、外观等有可能发生变化
PI 机能
传统的质量流量控制器，会有一个课题就是，在供给侧的压力发生急速变化时，瞬间流量发生大的变化，控制会变的不稳定。ST-500配备了解决这个课题的PI功能(PI…Pressure Insensitive 圧力鈍感性)
在流量传感器前段搭载压力传感器，因此讲捕捉到压力变动以及变动前的变化，实时修正阀的开度，达成针对压力变化也可以稳定控制流量。适用于半导体设备制造 等，对于安定性和正确性等有要求的气体供给工艺。
传统质量流量控制器
PI质量流量控制器
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