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等离子清洗机PICO

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更新时间：2023-09-04 13:34:50浏览次数：38次

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旭阿科技（上海）有限公司

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产品简介

等离子清洗机PICO 产品说明： 5L——10.6 L精密型等离子清洗机PICO可以组合成不同的模块系统，可以清洗所有类型的污染物及分解分子构成的残留污染物，增强材料表面的润湿性，是确保在涂漆、粘接、印刷或者键合时与结合配偶体粘附的前提条件。应用领域： PICO也可用于各向异性和各向同性蚀刻。通过化学蚀刻进行各向同性蚀刻，通过物理蚀刻进行各向异性蚀刻。使用低压等离子体，可以改良具有不同涂层的工件。在线咨询

详细介绍

设备：等离子清洗机PICO

销售：

产品功能：

清洗：工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗，也可与特定气体发生化学反应从而被清洗，清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。如：去除有机污染物，去除纳米级微粒，去除氧化层

活化：工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。如:PDMS键合，粘接前的预处理，涂装前的预处理，印刷前的预处理。

蚀刻：工艺部件表面通过特定气体达到精确溅射，表面材料被剥离，转变成气相被排出，溅射后的材料表面积增大并更易湿润，也使材料表面更粗糙化。通过改变工艺参数可使材料表面蚀刻出一定的形状。如：硅蚀刻，PTFE/PFA/FEP蚀刻，光刻胶去除。

涂层：使工艺部件表面发生等离子聚合反应，前驱单体导入等离子真空腔室后使其电离并沉积至材料表面，随即发生聚合反应，形成聚合物层。如：疏水层，亲水层，保护/阻隔层，干润滑层，疏油层。

具体应用：

• 去除部件封装（半导体）
• 支架（牙医）
•
• 传感器
• 精密驱动间
• 车大灯反射镜
• 摄像头
• 医疗器械

主要技术参数

1.半自动控制
2.根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3.双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制
4.反应舱为高硼硅玻璃腔体，直径130mm 长300 mm ，容积约为5L
5.发生器频率40KHz功率0~200W
6.反射波自动调节
7.电极材质为铝
8.运行模式为手动
9.配套真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀，国产飞越真空泵
10*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm
12.电源电压：单相AC230V 16A

选配：

控制系统：全自动PCCE控制/全自动PC控制。

气体：

气体流量控制器MFC，多路气体

腔体：

圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 150 mm，长 320 mm 或长 600 mm）
矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）
矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 160 mm x 160 mm，长 325 mm 或长 600 mm）
圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 130 mm，长 300 mm 或长 600 mm）
圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 130 mm，长 300 mm 或长 600 mm）

托盘：

石英玻璃舟皿/粉末转鼓/散装件转鼓/铝板/不锈钢板/硼硅玻璃/石英玻璃 /水冷型

压力测量：

Pirani/电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

发生器：

40 kHz： 0 - 200 W/0 -1000 W 100 kHz：0- 500 W 80 kHz：0- 1000 W 13.56 MHz： 0 - 100 W/ 300 W 2.45 GHz： 0 - 300 W

其他：

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