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小型生产型等离子清洗机 NANO

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更新时间：2023-09-03 13:56:19浏览次数：45次

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旭阿科技（上海）有限公司

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产品简介

小型生产型等离子清洗机 NANO 产品说明： 18L——33.6L生产型等离子清洗机NANO可以组合成不同的模块系统。高性价比可满足各种材料的中小型生产。应用领域：主要应用于以下领域：分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术在线咨询

详细介绍

设备：小型生产型等离子清洗机 NANO

销售：

产品功能：

清洗：工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗，也可与特定气体发生化学反应从而被清洗，清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。如：去除有机污染物，去除纳米级微粒，去除氧化层。

活化：工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。如：PDMS键合，粘接前的预处理，涂装前的预处理，印刷前的预处理。

蚀刻：工艺部件表面通过特定气体达到精确溅射，表面材料被剥离，转变成气相被排出，溅射后的材料表面积增大并更易湿润，也使材料表面更粗糙化。通过改变工艺参数可使材料表面蚀刻出一定的形状。如：硅蚀刻，PTFE/PFA/FEP蚀刻，光刻胶去除。

涂层：使工艺部件表面发生等离子聚合反应，前驱单体导入等离子真空腔室后使其电离并沉积至材料表面，随即发生聚合反应，形成聚合物层。如：疏水层，亲水层，保护/阻隔层，干润滑层，疏油层。

主要技术参数

1、手动控制
2、根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制
4. 反应舱为高硼硅玻璃材质，Φ 240mm、长 400 mm，容积18L
5. 发生器频率100KHz功率0~500W
6. 运行模式为手动
7. 真空泵的排气能力为14 m3/Hour，干泵，Kashiyama
8. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
9. 外尺寸：宽 560 mm、高 600-860 mm、深 600 mm
10. 电源电压：单相AC230V 16A

选配：

控制系统：全自动PCCE控制/全自动PC控制。

气体：

气体流量计MFC，多路气体

腔体：

圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 267 mm，长 420 mm 或长 600 mm）
矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm）
矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 240 mm x 240 mm，长 420 mm 或长 600 mm）
圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm）
圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm）

托盘：

石英玻璃舟皿/粉末转鼓/散装件转鼓/铝板/不锈钢板/硼硅玻璃/石英玻璃/水冷型

压力测量：

Pirani/电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

发生器：

100 kHz：0- 500 W 80 kHz：0- 1000 W 13.56 MHz： 0 - 100 W/300 W 2.45 GHz：0 - 600 W

其他：

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