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精密型等离子清洗机FEMTO

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更新时间：2023-09-02 14:17:27浏览次数：38次

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旭阿科技（上海）有限公司

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产品简介

精密型等离子清洗机FEMTO 产品说明： 1.7L——6L等离子清洗机FEMTO可以组合成不同的模块系统，是工艺实验当中多功能型小型设备的代表机型，非常适用于研发。应用领域：主要应用于以下领域：分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术。在线咨询

详细介绍

设备：精密型等离子清洗机FEMTO

销售：

产品功能：

清洗：工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗，也可与特定气体发生化学反应从而被清洗，清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。如：去除有机污染物，去除纳米级微粒，去除氧化层

活化：工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。如：PDMS键合，粘接前的预处理，涂装前的预处理，印刷前的预处理。

蚀刻：工艺部件表面通过特定气体达到精确溅射，表面材料被剥离，转变成气相被排出，溅射后的材料表面积增大并更易湿润，也使材料表面更粗糙化。通过改变工艺参数可使材料表面蚀刻出一定的形状。如：硅蚀刻，PTFE/PFA/FEP蚀刻，光刻胶去除。

涂层：使工艺部件表面发生等离子聚合反应，前驱单体导入等离子真空腔室后使其电离并沉积至材料表面，随即发生聚合反应，形成聚合物层。如：疏水层，亲水层，保护/阻隔层，干润滑层，疏油层。

具体应用：

• 硅蚀刻
• PTFE蚀刻
• 去除光刻胶
• 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
• 疏水层的沉积
• 亲水层的沉积
• 保护或绝缘层的沉积
• 防扩散层
• 石墨烯、煤样的灰化

主要技术参数

1. 全自动控制 PCCE
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数
3. 单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制
4. 反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L
5. 射频频率13.56MHz功率0~200W
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀
9. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
10. 外尺寸：W310*D420*H330mm
11. 电源电压：单相AC230V 16A

选配：

半自动/PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)/ PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

气体：

针形阀流量计；MFC多路气体可选

压力测量：

Pirani/电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

发生器：

40KHz0-100W/1000W 100KHz0-500W 80KHz0-1000W 2.45GHz0-100W/300W

腔体：

圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 100 mm，长 278 mm 或长 600 mm）
矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 103 x 深 285 x 高 103）
矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 103 mm x 103 mm，长 280 mm 或长 600 mm）
圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm）
圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm

托盘：

石英舟皿/粉末转鼓/散装件转鼓/铝板/不锈钢板/硼硅玻璃/石英

电极：

多层电极/RIE电极

其他：

......

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