武汉泰和丰顺光电有限公司
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加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计 加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计高温应用性能良好
| 类型 | 1000 ... 500 Torr / mbar | 200 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.4 |
| 温度效应 | ||||
| 零点 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
| 压力， | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建议的读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建议的控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | ||||
| 运行（周围环境）（5） | °C | +10 … +50 | ||
| 在法兰处烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 贮存 | °C | –20 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 电源电压 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | ||||
| 加热时 | W | ≤20 | ≤15 | ≤15 |
| 运行温度 | W | ≤14 | ≤10 | ≤10 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
| 保护等级 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
| 标准 | ||||
| CE 合规 | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 认证 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | |
| SEMI 合规 (5) | SEMI S2 | |||
| 加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计 | ||||
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