浚和（上海）仪器科技有限公司
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KASHIYAMA真空泵SDLSeries系列可用于大尺寸晶圆和FPD
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列
可用于大尺寸晶圆和FPD。
通过组合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
更短的周期时间。
大容量atm左右，可实现高压泵送。
适用于大型L/L箱。
溶剂抽空泵也排好了。
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列规格
型号 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
排气速度 [L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5.0 | |||
电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200～220V, 380～480V | 3Phase AC380～480V | |||||
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