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YAMATO洁净厌氧高温气氛炉DTN430C/630C/450C/650C

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产品简介

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等

详细介绍

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点
● 工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。
● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。
安全性
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。

规格：

型号			DTN430C			DTN630C	DTN450C	DTN650C
方式			氮气置换+ 强制送风循环
性能	使用温度范围		室温+50～360℃				室温+50～500℃
	温度调节精度		±0.5℃（at360℃）				±1.0℃（at500℃）
	温度分布精度		±5.0℃（at360℃）				±8.0℃（at500℃）
	温度到达时间		约80分钟				约110分钟
	氧浓度		20ppm 以下
	氧浓度到达时间		≤ 20分（250L/min 氮气）			≤ 25分（250L/min 氮气）	≤ 20分（250L/min 氮气）	≤ 25分（250L/min 氮气）
	洁净度		温度恒定时100级
构成	内装		不锈钢板
	外装		冷轧钢板，表面耐药品性涂装
	断热材		硅酸铝棉
	加热方式		不锈钢加热管
	加热功率	主加热器	6.75KW		9KW		9.5KW	14.2KW
		N2预热	1KW
	冷却机构		不锈钢冷却水换热器
	HEPA过滤器		集尘效率：0.3um粒子99.97%以上
控制器	温度控制方式		PID控制
	温度控制器		液晶触摸屏+PLC
	运行功能		手动定值运行、自动程序运行
	程序模式		程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）
	附加功能		操作员等级认证
	加热器回路控制		SSR驱动
	传感器		K型热电偶（温度控制及过升防止器）
安全装置			门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等
规格	内尺寸（宽×深×高mm）		450×450×450		660×500×660		450×450×450	660×500×660
	外形尺寸（宽×深×高mm）		1090×950×1540		1300×1000×1750		1240×1010×1750	1450×1060×1960
	内容积		91L		216L		91L	216L
	棚板层数/层间距		12层/30mm		19层/30mm		12层/30mm	19层/30mm
	排气口		40KF法兰
	氮气入口		Rc1/2
	冷却水入口		Rc3/4
	热水出口		Rc3/4，2个
	电源（50/60Hz）额定电流		3相AC380V 16A	3相AC380V 19A			3相AC380V 20A	3相AC380V 27A
	重量		约900kg	约1100kg			约900kg	约1100kg
选购品			棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能