INFICON 反磁控皮拉尼真空计

益处

• 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
• 测量范围广，从 5 x 10^-9 毫巴到大气压
• 不会出现单丝烧毁的现象
• 的点火属性
• 易于清洁
• FPM 或金属密封馈入装置
• 高压 LED 指示灯
• 对数模拟输出信号

典型应用

• 高真空压力监控
• 蒸发系统和溅射系统的基本压力
• 中高真空范围内的一般真空测量和控制
  
  
  
  
  
  

  规格

  类型		MPG400 FPM sealed	MPG401 metal-sealed
  测量范围（空气，N2）		5 x 10-9 … 1000	5 x 10-9 … 1000
  精度 (N2)
  1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±30%	≈±30%
  可重复性
  1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±5%	≈±5%
  安装定位		any	any
  容许压力	bar (absolute)	≤10 (limited to inert gases)	≤10 (limited to inert gases)
  容许温度
  运行（环境）	°C	+5 … +55	+5 … +55
  贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65
  烘烤 (1)	°C	150	150
  单丝温度（皮拉尼）	°C	120	120
  电源电压
  真空计上	V (dc)	+15 … +30	+15 … +30
  缆线更长的电源装置 (2)	V (dc)	+16 … +30	+16 … +30
  波纹	V (p-p)	≤1	≤1
  功耗	W	≤2	≤2
  可连接的保险丝	AT	≤1	≤1
  输出信号（测量信号）
  电压范围	V	0 … +10.5	0 … +10.5
  测量范围	V	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
  电压与压强		logarithmic, 0.6 volts per decade	logarithmic, 0.6 volts per decade
  错误信号
  无电源	V	<0.5	<0.5
  皮拉尼传感器，单丝断裂	V	>9.5	>9.5
  输出电阻	Ω	2 x 10	2 x 10
  更小负载电阻	kΩ	10, short-circuit proof	10, short-circuit proof
  反应时间
  p > 10-6 毫巴	ms	<10	<10
  p = 10-8 毫巴	ms	≈1000	≈1000
  识别真空计		85, referenced to supply common	85, referenced to supply common
  状态
  仅皮拉尼模式	V	0 (low)	0 (low)
  复合皮拉尼 / 冷阴极模式	V	15 … 30 (high)	15 … 30 (high)
  LED	LED green	high voltage on	high voltage on
  电气连接		FCC 68 appliance connector, 8 poles, female	FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
  传感器电缆		8 poles plus shielding	8 poles plus shielding
  电缆长度	m	≤50 (8 x 0.14 mm2)	≤50 (8 x 0.14 mm2)
  运行电压	kV	≤3.3	≤3.3
  运行电流	μA	≤500	≤500
  暴露于真空的材料		stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
  内部容积	cm3	≈20	≈20
  重量
  DN 25 ISO-KF	g	≈700	≈730
  DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
  DN 40 CF-F	g	≈980	≈1010
  保护类别		IP 40	IP 40
  标准
  CE 合规		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

  1) 没有电子和磁遮蔽。

  2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的**低电压。